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磁控溅射镀膜机

  • 制造厂商:Kurt J. Lesker
  • 购置日期:暂无信息
  • 型号:pvd 75
  • 生产国别:美国
  • 仪器类别:工艺实验设备
  • 安放地址:浙江省

跨区域科技政策:

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  • 仪器详情
  • 在真空环境下,利用物理沉淀的方式(包括磁控溅射、电子束 蒸发、热蒸发、有机蒸发等,本台设备主要选用磁控溅射的方式)在材料基片表面匀镀一层微纳尺度的金属或半导体膜。

  • 暂无信息

  • 暂无信息

  • 最大膜厚:>300nm 最长镀膜时间:<1小时 真空时间:>24小时 最大靶材利用率:>30% 靶数量:3个 电源:2个 基片数量:1*2“

  • 电子与通信技术

  • 在真空环境下,利用物理沉淀的方式(包括磁控溅射、电子束 蒸发、热蒸发、有机蒸发等,本台设备主要选用磁控溅射的方式)在材料基片表面匀镀一层微纳尺度的金属或半导体膜。主要用于基于微纳米尺度微细结构制作的科研及教学工作,能够支持学校光学工程、仪器技术及检测等多个学科的建设。

  • 暂无信息

  • 暂无信息

浙江省光电磁传感技术研究重点实验室

机构介绍: 浙江省光电磁传感技术重点实验室(依托浙江大学光及电磁波研究中心)成立于2010年9月,实验室主任为国家“**”入选者何赛灵教授。实验室主要研究方向有:(1)微纳光电生物传感技术;(2)分布式光纤传感器及复用技术;(3)自由空间光/电磁波传感技术。实验室致力于打造服务于浙江省光电磁传感技术相关产业的一流创新实验室及研究团队。 实验室学术骨干成员包括国家“**”入选者3名,省“**”入选者1名,国际电气电子工程师学会(IEEE)Fellow 3名,美国光学学会(OSA) Fellow 2名,国际光学工程学会(SPIE)Fellow 2名,美国物理协会(APS)Fellow 1名,教育部长江学者特聘教授2名,国家杰出青年基金获得者2名,973首席科学家1名,863首席专家2名,以及副教授以上青年研究人员10余名,拥有具备国际影响力的学术梯队。 实验室每年发表SCI收录期刊论文50余篇(每年发表于TOP期刊的论文超40篇);实验室连续多年论文被引用次数超过1000次/年。近三年,实验室成员第一作者发表了10余篇高影响因子(大于7)的高质量论文,获授权发明专利10余项;主持了4项863项目/课题,承担了2项973课题,10余项省部级项目及国家自然科学基金。 实验室与瑞典皇家工学院、瑞典隆德大学合作共建“中瑞联合光子研究中心”,与浙江师范大学合作共建“光学联合研究实验室”;同时,与荷兰飞利浦全球研究院、瑞典爱立信总公司、美国纽约州立大学布法罗分校、美国加洲大学等国际一流的研究机构保持良好的合作关系;与7位外籍的名誉/兼职/客座/光彪讲座教授(包括前诺贝尔物理学奖评委会主席)保持长期的深入合作。实验室每年邀请20余名国内外专家短期来访进行科研合作、交流与联合培养博士生。 实验室以学科建设和人才队伍建设为龙头,注重提升科学研究水平,以促进科学研究和产业化应用的紧密结合,在创造高质量科研成果的同时,注重科技成果的转化,与企业界建立了很好的合作关系,并积极参与打造“智慧浙江”新兴产业活动,开发了多种具有自主知识产权的高端传感技术产品:包括用于光纤到户的通讯及传感光集成核心芯片;用于主干网及高性能计算机/数据中心光交换的半导体可调激光器,光交换设备等;用于环境/工业/交通/建筑物监测保护的气体传感监测设备与全光纤分布式在线监测系统等。实验室相关研发成果已与爱立信、飞利浦、华为等公司开展了合作研究,并与正泰集团、浙大网新、浙江富春江集团等公司开展了实质性合作,促进科研成果到产业化的转变,推进产学研一体化进程;针对我省物联网发展的战略需求,力争为我省经济转型升级带来新思路。

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