IC芯片线路缺陷检测仪
- 制造厂商： HAMAMATSU
- 购置日期：2012-04-26
- 型号：uPhemos-200
- 生产国别：日本
- 仪器类别：分析仪器
- 安放地址：上海市
跨区域科技政策：
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- 仪器详情
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OBIRCH可用于IC芯片内部高阻抗及低阻抗分析, 线路漏电路径分析。利用OBIRCH方法，可以有效地对芯片线路中的缺陷进行检测定位，如线路线条中的空洞、通孔下的空洞、通孔底部高阻区等；也能有效的检测短路或漏电，是发光显微技术的有力补充。
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