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四探针设备

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  • 仪器详情
  • Saratoga Technology International

  • 2013-09-17

  • 333A

  • 美国

  • 电子测量仪器

  • 上海市

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  • 四探针的四根探针压力需一致控制在70-90克左右,测量时最外两根探针加上微弱的恒定电流,中间两个探针收集到非常微弱的电压,再通过一系列的抗噪音处理,信号收集放大,最后根据半导体物理特性计算出反应被测材料中掺杂情况的方阻或电阻率。

  • 测试半导体材料的电阻率;或监控半导体晶圆掺杂工艺;

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上海集成电路研发中心有限公司

机构介绍:

  研发中心保持以发展与中国集成电路产业相适应的应用技术为主线,通过与产业界协调发展的方式获得持续发展能力。主要业务功能包括:(1)先进工艺技术开发和应用,为集成电路制造企业提供先进工艺研发和验证的公共平台,为高校和科研院所提供先进的新技术研究基地;(2)为国内企业提供技术来源及知识产权保护的共同支撑;(3)为国内设计企业产品开发提供特色工艺模块和IP核;(4)为国内设备和材料企业提供先进工艺设备和新材料的展示、评价、中试及配套工艺技术开发;(5)为集成电路企业、高校和科研院所提供人才培养和实习的实训基地。    研发中心坚持“以国际化合作建立基础、以产学研结合集聚资源、以市场化运作获取发展”,与一批国际著名半导体厂商、研究机构保持着紧密的合作关系。研发中心已经拥有开放式8英寸和12英寸芯片工艺技术研发平台,并正在建设一条具有国际先进水平的集成电路先进工艺引导线,成为国内最先进的可与生产线匹配的共性工艺研发平台。目前,研发中心已经成为国家发改委集成电路设计服务平台、上海市集成电路技术创新服务平台、上海市集成电路制造设备和工艺材料工程化应用工程技术研究中心。研发中心拥有一支优秀的技术人才团队,并秉承“创新、高效、坚韧、跨越”的文化理念,正在逐步打造成为一流的集成电路公共研发机构,以推动中国集成电路产业持续快速发展。

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