微流控芯片制备湿法刻蚀设备
- 制造厂商：沈阳芯源微电子有限公司
- 购置日期：2016-09-16
- 型号：KS-M200-1E
- 生产国别：中华人民共和国
- 仪器类别：工艺实验设备
- 安放地址：上海市
跨区域科技政策：
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- 仪器详情
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本设备需实现200mm方片基板的刻蚀、清洗，实现高精度线宽控制、大宽长比、高均匀性侧壁断面控制等多方面性能要求。
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暂无信息
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暂无信息
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刻蚀均匀性指标：刻蚀ITO≤a±3%，刻蚀Mo≤a±5%，初始均匀性为a。
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电子与通信技术,工程与技术科学基础学科
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用于金属材料刻蚀
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暂无信息
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暂无信息
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1400
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100
上海大学
机构介绍: 上海大学是上海市人民政府举办的综合性大学，是“九五”、“十五”期间国家“211工程”重点建设高校，以本科教育为基础和主体，重点发展研究生教育，积极发展留学生教育。拥有理学、力学、文学、历史学、哲学、法学、经济学、管理学等8个学科门类。以国家级和上海市重点学科为支持点，以博士学位学科点为基本面，搭建布局和结构比较合理的学科平台。不断更新学科内容，为改造传统产业、开拓新型产业、促进社会文化进步提供有力的科技支持和人才保障。
资质能力：
