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电子束纳米加工装置

  • 制造厂商:Crestec Corporation
  • 购置日期:2012-12-06
  • 型号:CABL-9500C
  • 生产国别:日本
  • 仪器类别:工艺实验设备
  • 安放地址:上海市

跨区域科技政策:

  • 上海
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  • 合肥毫州六安宿州阜阳黄山淮北淮南蚌埠宣城池州滁州安庆铜陵芜湖马鞍山
  • 仪器详情
  • 制备各种纳米结构图形,周期及非周期结构

  • 暂无信息

  • 暂无信息

  • 1、电子枪:高分辨率的冷场电子发射源 (尺寸min: 2nm) 2、电子束能量:5KeV-50keV 3、束流可调:5pA-100nA 4、扫描方式:Vector Scan,Raster Scan以及Spot Scan 5、图形直写:最小线宽10nm(guaranteed),8nm( available) 6、写场可调:60μm-600μm 7、图形扫描分辨率:100MHz 8、晶片支架:2~ 4inch晶片及碎片 9、拼接精度:35nm@100um 10、套刻精度:35nm@100um 11、图形软件:Dedicated CAD,GDSII conversion,DXF conversion

  • 材料科学,物理学

  • 光子晶体、光学器件、表面等离子激元学等领域

  • 暂无信息

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中国科学院上海高等研究院

机构介绍:

中国科学院上海高等研究院(以下简称“高研院”)是由中国科学院和上海市人民政府共建的科研机构,坐落于中国科学院上海浦东科技园。高研院积极开展原始创新和集成创新研究,加强与海内外研发机构、大学和企业的合作,集聚海内外杰出学者,促进我国相关战略新兴产业发展成为技术引领者,加快科学技术成果转移转化。实践科技与经济、科技与教育、科技与金融、科技与文化的四结合,成为有国际竞争力的集研、产、学、用为一体的多学科交叉综合性科教机构,为国家和区域经济增长方式转变提供相关领域的技术支撑与决策支持。

高研院已形成交叉前沿与先进材料、信息科学与技术、空间科技、能源与环境、生命科学与技术及技术转移转化的“五部一中心”的发展格局。在未来五至十年,高研院将以先进微小卫星、绿色智能城网、高端医疗影像设备三个重大突破为目标,将物联网行业应用、无线三网融合、可持续能源解决方案、温室气体和环境工程、干细胞与纳米医学作为五个重点培育方向大力发展科研及其应用。

高研院正成为创新功能体系完善、人才队伍集聚、技术创新平台及基础设施先进、布局合理、设施一流、配套完善、环境优美、在国内外有影响的研究院,建立健全有利于创新的体制和机制,与上海科技大学共同打造人才培养和科技创新的生态系统。

振翅欲飞的高研院,正以海纳百川之胸怀、协力创新之精神,期待海内外人才的加入,愿我们携手将高研院建设成为具有国际竞争力的高技术研究机构,共创辉煌未来!

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