睿励科学仪器（上海）有限公司

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睿励科学仪器（上海）有限公司是于2005年创建的合资公司，致力于开发、生产和销售具有自主知识产权的集成电路生产制造工艺装备产业中的工艺检测设备。

公司的产品填补国家重大产业链中的重要空白，自列入了2005年上海市科教兴市重大产业科技攻关项目起,，得到了政府和业界的大力支持和高度关注。

公司将通过不断吸收和培养人才，建立和发展业界一流的具有自主创新能力的企业和团队，达到并持续保持在国际及国内相应产业和市场的领先地位。

公司自主研发的产品：

TFX3000--300mm全自动光学膜厚测量系统

TFX3000 OCD--300mm全自动光学关键尺寸和形貌测量系统