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MEMS晶圆测试

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累计预约

规格:
  • 硅麦克风晶圆测试¥212.00
  • 压力传感器晶圆测试¥212.00
  • 陀螺仪晶圆测试¥212.00
  • 加速度计晶圆测试¥212.00
  • 服务详情

上海工研院提供MEMS晶圆测试服务


可测试的器件类型有:加速度计、陀螺仪、硅麦克风和压力传感器等


可测试的参数包括:


漏电流

电容

其它静态参数

谐振频率

品质因素

阻尼系数

正交误差

其它动态参数


主要设备: STI3000全自动探针台

设备介绍:

通过STI3000全自动探针台,提供晶圆的接触测试、功耗测试、输入漏电测试、输出电

平测试、全面的功能测试、全面的动态参数测试以及模拟信号的参数测试等。

STI3000晶圆探针台的主要特征参数:

Wafer Size Range: 75mm - 150mm

Cassette to Cassette

Temperature Control Chuck optional

Automatic Alignment

OCR Camera

Dimensions: 53" x 32" x 56"

Weight: 770 lbs


单位介绍