对半导体、金属、聚合物、化学试剂、生物材料和环境样品进行结构、缺陷、组份及电学、光学特性的表征和分析工作，为相关行业提供服务 半导体 ？ 硅材料的微结构和微缺陷 ？ 硅和化合物体内杂质 ？ 超晶格量子阱机构和缺陷 ？ 重掺杂CZ-Si单晶中氧碳含量 ？ 半导体中的杂质能级 ？ 异质结材料结构和缺陷 ？ SOI、SOS、SIMOX材料结构 ？ 电阻率、载流子浓度及迁移率 金属 ？ 4N~7N纯度金属 ？ 金属杂质深度分部 ？ 表面氧化、偏析、硬化处理的深度 ？ Al硅化物中U及Th含量 ？ 痕量杂质的深度分

单位介绍

• 微电子材料与器件的微分析检测服务平台的工作是依托复旦大学国家微分析中心而建设的。微分析中心是1993年在国家计委（当时）的支持下成立的，得到了国家及上海市政府的大力扶植。通过各类项目，微分析中心已得到的纵向经费总额超过8000万元，现有研究人员、专业技术人员及服务人员20余名。中心目前拥有两栋建筑物，分别位于复旦大学邯郸路校区（建筑面积~3900 m2）和张江校区（建筑面积~5900 m2）。中心拥有大量的专业分析仪器设备，总金额超过7000万元，其中一些专门仪器是国内少有的，如，二次离子质谱仪。在材料分析领域、器件综合技术方面中心发展出了多项专业技术，在国内享有很高的声誉，受到业界的普遍认可。 近年来，通过参与国家重大专项，如02专项，和在教育部211项目、985项目的支持下，中心不断更新和添置分析设备，为满足产业对微分析技术的需求提供了保障。特别是在02专项的支持下，近两年来中心在张江校区建设了面积达到200 m2的可靠性实验室，拓展了中心的研究、服务领域，形成了新的技术服务增长点。

单位资质

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