纳米真空互联实验站2013年启动筹建，依托中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，由江苏省、中科院、苏州市及苏州工业园区四方共建，是世界首个集材料生长、器件加工、测试分析为一体的纳米领域大科学装置，旨在建立一个真空环境下从材料、器件、封装到测试的综合研究设施，提供多种极端条件下材料、结构和性能关系的科学研究平台，挑战现有器件的物理极限、创新能源和信息领域核心器件的技术路线，加深人们对物质世界微观本质的认识，引发纳米器件从基础科学研究到大规模产业发展的工业革命。截至2019年底，拥有全职职工和学生60余人，其中正高级职称6人，中科院“百人计划”2人，博士学历14人，形成了一支建设能力突出和结构合理的优秀中青年支撑团队。