原子层沉积系统
- 制造厂商：迈纳德
- 购置日期：暂无信息
- 型号：MNT-S100-L4
- 生产国别：中国
- 仪器类别：
- 安放地址：上海市
跨区域科技政策：
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上海
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- 仪器详情
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1.?高精度薄膜沉积?：原子级厚度控制（基于”原子层沉积”技术特性） 2.?复杂结构封装?：三维衬底/多孔材料的均匀镀膜 3.?缺陷修复?：器件微纳结构的损伤填补与性能恢复 4.?材料改性?：通过臭氧源实现材料表面氧化处理 5.?科研级工艺开发?：支持RT400℃以内温区的新材料合成
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暂无信息
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机械
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1、设备本底真空优于3Pa； 2、样品台加热温度最高可达 400 oC，采用 PID 控制方式，控制精度为±1oC； 3、加热源 4 路；前驱体输送管路加热温度范围 RT-250 oC，控制精度±1 oC； 4、4 英寸晶圆上沉积 300cycle 氧化铝，晶圆上 5 个均匀分散点进行椭偏仪测试膜厚，薄膜不均匀性≤1%
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机械工程
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暂无信息
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暂无信息
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详见网页公布收费标准
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上海交通大学
机构介绍: 上海交通大学是教育部直属、由教育部和上海市共建的全国重点大学。近几年来，每年科研项目超过1500项，科研经费突破6亿元。高清晰度数字电视系统、MCFC燃料电池、以1mm微马达为核心器件的微机械等一大批高水平科研成果已经或可望产生巨大的经济效益和社会效益。此外，在记忆合金、集成电路、计算机科学、力学等基础理论研究方面均取得重要成果。
资质能力：
