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高真空有机镀膜系统

跨区域科技政策：

功能：
保持较高真空，可同时加热有机物、金属、氧化物等材料，沉积在基片上形成均匀的薄膜。
用途：
暂无信息
应用领域：
暂无信息
主要技术指标：
1. 极限真空度：4x10-5Pa； 2. 充入干燥氮气抽至5x10-4Pa≤25min； 3. 真空室漏率：漏率为关机12小时≤10Pa（新设备空载，极限真空后关机）； 4. 有机源可加热至500-1000℃，金属电极可加电流至150-300A，电子束可加电压6Kv。
主要学科领域：
材料科学
服务内容：
服务于科学研究、人才培养、学科建设、基金项目等。
服务典型成果：
高水平科研论文发表、研究生顺利毕业、教师获得各类人才头衔、学科排名攀升
参考收费标准：
暂无
年总运行机时：
暂无信息
年对外服务机时：
暂无信息

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