ICP干法刻蚀机
- 制造厂商：牛津仪器公司
- 购置日期：暂无信息
- 型号：ICP180System100
- 生产国别：英国
- 仪器类别：电子测量仪器
- 安放地址：江苏省
跨区域科技政策：
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上海
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- 仪器详情
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1、适用于GaAs系、InP系及其他相关材料的刻蚀，要求工艺稳定，刻蚀一致性好，均匀性好。2、系统须包括工艺室、半自动真空载片室、计算机控制系统等，半自动载片负责传送晶片进出ICP工艺室及载片室，工艺室的内壁材料应与选择的反应其他无任何反应；
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暂无信息
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暂无信息
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1、适用于GaAs系、InP系及其他相关材料的刻蚀，要求工艺稳定，刻蚀一致性好，均匀性好。2、系统须包括工艺室、半自动真空载片室、计算机控制系统等，半自动载片负责传送晶片进出ICP工艺室及载片室，工艺室的内壁材料应与选择的反应其他无任何反应；3、载片台具有温度控制系统，温度连续可调，制冷控制温度可以低于-30℃，加热控制温度可达80℃，单次载盘可承载多片3英寸晶片；
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机械工程
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先进制造
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先进制造
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200元/小时
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暂无信息
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暂无信息
中科院苏州生物医学工程技术研究所
机构介绍: 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所（以下简称“苏州医工所”）是中国科学院唯一以生物医学仪器、试剂和生物材料为主要研发方向的国立研究机构，由中国科学院、江苏省和苏州市人民政府三方共同出资建设。自2012年11月正式成立以来，研究所始终秉承“忠诚 务实 合作 创新”的发展理念，定位于“面向生物医学的重大需求，开展先进生物医学仪器、试剂和生物材料等方面的基础性、战略性、前瞻性的研究工作，引领生物医学工程技术的发展，建成医疗仪器科技创新与成果转化平台，成为不可替代的国立研究机构”。
资质能力：
