对半导体、金属、聚合物、化学试剂、生物材料和环境样品进行结构、缺陷、组份及电学、光学特性的表征和分析工作，为相关行业提供服务
半导体
？ 硅材料的微结构和微缺陷
？ 硅和化合物体内杂质
？ 超晶格量子阱机构和缺陷
？ 重掺杂CZ-Si单晶中氧碳含量
？ 半导体中的杂质能级
？ 异质结材料结构和缺陷
？ SOI、SOS、SIMOX材料结构
？ 电阻率、载流子浓度及迁移率
金属
？ 4N~7N纯度金属
？ 金属杂质深度分部
？ 表面氧化、偏析、硬化处理的深度
？ Al硅化物中U及Th含量
？ 痕量杂质的深度分
单位介绍
