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台仪器
1
晶圆测试探针台
上海旻艾半导体有限公司
2
可变角光谱型椭偏仪(可见近红外)
中国科学院上海技术物理研究所
3
手术显微镜
上海益诺思生物技术股份有限公司
4
红外光谱型椭偏仪
中国科学院上海技术物理研究所
5
误码仪
上海科技大学
6
成套设备-等离子型原子层沉积系统
复旦大学
7
气相色谱质谱联用仪
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
8
傅里叶变换红外光谱仪
中国科学院上海技术物理研究所