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  • 1

    晶圆测试探针台

    上海旻艾半导体有限公司

  • 2

    可变角光谱型椭偏仪（可见近红外）

    中国科学院上海技术物理研究所

  • 3

    手术显微镜

    上海益诺思生物技术股份有限公司

  • 4

    红外光谱型椭偏仪

    中国科学院上海技术物理研究所

  • 5

    误码仪

    上海科技大学

  • 6

    成套设备-等离子型原子层沉积系统

    复旦大学

  • 7

    气相色谱质谱联用仪

    中国科学院宁波材料技术与工程研究所

  • 8

    傅里叶变换红外光谱仪

    中国科学院上海技术物理研究所