双束聚焦离子束显微镜
- 制造厂商：FEI
- 购置日期：2012-05-10
- 型号：DB237
- 生产国别：美国
- 仪器类别：分析仪器
- 安放地址：上海市
跨区域科技政策：
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- 仪器详情
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芯片失效分析及线路修补
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加速电压：30KV; 电子束放大倍率：200K; 离子束放大倍率：50K; 电子束高真空：<4e-10; 离子束高真空：5e-6; 样品最大尺寸：4*4cm
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