无损迁移率测量仪
- 制造厂商：美国leihighton公司
- 购置日期：暂无信息
- 型号：LEI-1610E100M
- 生产国别：美国
- 仪器类别：物理性能测试仪器
- 安放地址：江苏省
跨区域科技政策：
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- 仪器详情
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LEI-1600系列非接触迁移率测量系统是半导体生产工艺控制、产品质量监测和提高产品率的检测设备，常应用于无损测量化合物半导体材料的迁移率、载流子浓度、方块电阻。测量样品包括GaAs (pHEMT, HEMT, HBT)，GaN(HEMT，LED)，SiC，SiGe，InP，Si等的外延结构。
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暂无信息
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暂无信息
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样品尺寸：2"-8"或者16mm×16mm的方形样品； 迁移率测量范围：100-20000（cm2/v.sec)； 方块电阻测量范围：100-3000（ohm/sq)； 载流子面密度测量范围：1E11-1E14（cm-2）； 电磁铁磁场强度：1.0T 探头线圈直径：15mm
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物理学
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LEI-1600系列非接触迁移率测量系统是半导体生产工艺控制、产品质量监测和提高产品率的检测设备，常应用于无损测量化合物半导体材料的迁移率、载流子浓度、方块电阻。
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