多靶磁控溅射仪
- 制造厂商：Plassys
- 购置日期：暂无信息
- 型号：Plassys MP600S
- 生产国别：法国
- 仪器类别：工艺实验设备
- 安放地址：江苏省
跨区域科技政策：
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上海
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- 仪器详情
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主要用于低应力单层/多层金属薄膜制备
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暂无信息
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暂无信息
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1.300 W射频源； 2.2 kW直流源； 3.共四个底电极：三个底电极为水冷，一个可加热到350℃； 4.三路反应气体分别为Ar, N2, O2； 5.反应腔内径为600mm，高度为300mm； 6.溅射前腔内压力：≤7*10-8Torr; 7.偏置电压：10V－300V可调
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心理学
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主要用于低应力单层/多层金属薄膜制备
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主要用于低应力单层/多层金属薄膜制备
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①450元/小时+②300元/次工艺＋③材料费: 50元/10nm(Au及合金、Pd)或75元/10nm(Pt) 或50元/100nm (其它材料)
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暂无信息
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暂无信息
中科院苏州生物医学工程技术研究所
机构介绍: 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所（以下简称“苏州医工所”）是中国科学院唯一以生物医学仪器、试剂和生物材料为主要研发方向的国立研究机构，由中国科学院、江苏省和苏州市人民政府三方共同出资建设。自2012年11月正式成立以来，研究所始终秉承“忠诚 务实 合作 创新”的发展理念，定位于“面向生物医学的重大需求，开展先进生物医学仪器、试剂和生物材料等方面的基础性、战略性、前瞻性的研究工作，引领生物医学工程技术的发展，建成医疗仪器科技创新与成果转化平台，成为不可替代的国立研究机构”。
资质能力：
