氮（氧）氢管式退火炉
- 制造厂商：定制
- 购置日期：暂无信息
- 型号：定制
- 生产国别：中国
- 仪器类别：大气探测仪器
- 安放地址：江苏省
跨区域科技政策：
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- 仪器详情
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主要适合用于半导体器件，纳米材料、二极管、IC电路、光电子、太阳能电池、扩散、氧化、退火等工艺的专用设备。本设备采用高可靠的配置，关键部分为进口件，故可靠性、重复性及质量稳定。,
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暂无信息
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设备技术参数：石英管内径７５ｍｍ（２寸片）；管内恒温区３００ｍｍ（静态闭管测试）：４５０－750度精确±１°Ｃ，３００ －４５０度精确±１．２－２．５°Ｃ工作温度３００－75０度升温速率１５°Ｃ／ｍｉｎ，降温速率５°Ｃ／ｍｉｎ开机重复性精度±１°Ｃ每管加热变压器功率６ＫＶＡ，恒温功率３．２ＫＶＡ。输入电源三相四线ＡＣ３８０ Ｖ±１０％，加热元件为直径６ｍｍ高温电热丝,
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电子与通信技术
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主要适合用于半导体器件，纳米材料、二极管、IC电路、光电子、太阳能电池、扩散、氧化、退火等工艺的专用设备。本设备采用高可靠的配置，关键部分为进口件，故可靠性、重复性及质量稳定。,
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主要适合用于半导体器件，纳米材料、二极管、IC电路、光电子、太阳能电池、扩散、氧化、退火等工艺的专用设备。
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N2工艺300元/小时 ，O2工艺400元/小时，O2流量不得大于2.5L/min,
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暂无信息
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